混合气体配比器七星质量流量计
技术参数 编号 类型 D07-7K 型 D07-7B 型 D07-7C 型 D07-7CM 型 1 流量规格 (20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM 2 准确度 ±1 % F.S ±1.5 % F.S ±1.5 % F.S ±1.5 % F.S 3 线性 ±1 % F.S ±1 % F.S ±1 % F.S ±1 % F.S 4 重复精度 ±0.2 %F.S ±0.2 %F.S ±0.2 %F.S ±0.2 %F.S 5 响应时间 电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec 电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec 电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec 10 sec 6 气压降 ˉ ˉ ˉ 7 工作压差范围 (0.1 ~ 0.5) MPa (0.1 ~ 0.5) MPa (0.1 ~ 0.5) MPa
898995850
