okamoto代理商_GNX200BP晶圆减薄
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- 供 应 地：广东省深圳市
- 发布公司：深圳市衡鹏瑞和科技有限公司
- 产品型号：GNX200BP
- 品 牌：okamoto
- 发布日期：2021/9/1 14:46:44
- 联系人QQ：2237319338
详细说明
okamoto代理商_GNX200BP晶圆减薄
okamoto代理商_GNX200BP是一款持续向下进给式减薄设备，采用机械臂传送硅片，减薄完成后，有两个独立的清洗腔，清洗效果更佳。工作盘转速、主轴转速、主轴下压速度都可调，有助于平衡产量、减薄品质、磨轮寿命。采用两点式实时测厚仪测量主轴1和主轴2下的硅片厚度，采用3点测控主轴角度调整机构来控制加工的平整度(TTV)。减薄工序完成后，硅片即会被自动传送的抛光腔，经过抛光工序，去除硅片表面损伤，提高晶圆强度，最薄可以加工50μm的晶圆。
okamoto GNX200BP晶圆减薄规格：
支持wafer尺寸 8英寸
主轴形式 空气主轴，MAX3600rpm
朱轴驱动电机功率 2.2kW/4kW
磨轮直径 250mm
工作台数量 3个工作台
工作台形式 机械轴(标配)承或空气轴承(选配)
工作台转速 1-600rpm
测厚机构 2点接触式测厚机构
测厚精度 1um
测厚范围 0-1.2mm
料盒数量 每个工作单元(减薄&抛光)各2个料盒
抛光机构功率 3kW 交流伺服电机(0-460rpm)
抛光波速 100-8000mm/min
抛光压力 50-999g/cm2
抛光磨轮尺寸 200mm
抛光台转速 50-200rpm
真空盘材质 氧化铝边框+陶瓷气孔盘
自洁方式 水冲+刷洗
了解更多：http://www.hapoin.com/Wafer_Grinding/gnx200bp.htm
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