晶圆搬送机械臂_真空3轴圆柱坐标洁净机械手
- 价 格：
面议 /
- 供 应 地：广东省深圳市
- 发布公司：深圳市衡鹏瑞和科技有限公司
- 产品型号：
- 品 牌：
- 发布日期：2021/11/17 16:07:27
- 联系人QQ：2237319338
详细说明
晶圆搬送机械臂_真空3轴圆柱坐标洁净机械手
晶圆搬送机械臂_真空3轴圆柱坐标型机械手特点：
真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系列
双手指结构可以在真空腔室内搬运4kg以下的托盘
相比LVHR系列机械手臂具有较好的性价比优势
手臂关节处使用磁流体密封装置
真空密封：磁流体密封装置和波纹管
提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5μm级过滤器
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴采用2相步进电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
可以选配2相步进电机规格
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供手指
3轴晶圆搬送机械臂基本参数：
使用环境 洁净间内的大气环境真空
手臂 单臂
到达距离 640mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴MAX行程 60mm
可搬运质量 10kg (手臂第3关节处基准)
了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/
晶圆搬送机械臂_真空3轴圆柱坐标洁净机械手相关产品：
衡鹏供应
防水式4轴圆柱坐标洁净机械手臂
5轴水平多关节型晶圆搬运机械手
本公司系专业化、集成化的电子制造行业综合服务性企业。公司致力于引进国外高端制造设备、精密检测仪器、先进生产材料，服务于国内电子制造行业，以助于国内企业提高产品品质，由制造型向创造型企业迈进。公司依托于中国国内电子制造业的高速发展，产品已涉及消费电子制造、汽车电子、半导体、LED以及光伏太阳能等行业领域，已在市场中建立起良好的信誉和广泛的商业资源。近年来，随着市场的日渐成熟和业务的不断发展，公司的业务已经遍布中国大陆以及港台市场，并形成较为完善的销售网络，深得广大电子产品制造商的青睐。本公司将紧跟信息时代的发展步伐，充分利用自身优势，不断提升自身的服务理念，致力于为客户提供更专业化、系统化的技术支持与服务，进一步建立稳固的销售网络，从而将公司发展成为引领中国电子行业发展的知名企业。
卖家名片Cards
卖家名片
![深圳市衡鹏瑞和科技有限公司]()
联系人：刘庆(销售经理)
手机：13923818033
邮箱：sales@hapoin.com
免责声明：交易有风险，请谨慎交易，以免因此造成自身的损失，本站所展示的信息均由企业自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责。本站对此不承担任何保证责任。
898995850
