P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，将行业领先的P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的HRP®-260的机械传送臂相结合。 这样的组合为机械传送臂系统提供了极低的拥有成本，适用于半导体，化合物半导体和相关行业。 P-170可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。
该系统结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性。通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能，程序设置简便快速。P-170具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可以支持2D或3D测量。并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。
主要功能
· 台阶高度：几纳米至1000μm
· 微力恒力控制：0.03至50mg
· 样品全直径扫描，无需图像拼接
· 视频：500万像素高分辨率彩色摄像机
· 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
· 软件：简单易用的软件界面
· 生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化
· 晶圆机械传送臂：自动加载75mm至200mm不透明（例如硅）和透明（例如蓝宝石）样品
主要应用
· 台阶高度：2D和3D台阶高度
· 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度
· 形状：2D和3D翘曲和形状
· 应力：2D和3D薄膜应力
· 缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌
工业应用
· 半导体
· 化合物半导体
· LED：发光二极管
· MEMS：微机电系统
· 数据存储
· 汽车
· 还有更多：请与我们联系以满足您的要求
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