概述
HNPWQ-110型尾气处理装置是我司最新研制的一款针对实验室，甚至现场测量产生的尾气处理的具有环保意义的设备。
该设备能将尾气中的颗粒物质、油份、水份、酸性物质、毒性气体进行吸收中和，再将剩余的纯净气体进行回收，既避免了尾气对环境的污染，又可以对尾气再利用。
主要特点
l 自封进出气口，有效防止气体外漏
l 可方便的活化或更换吸收中和介质
l 合理的气路设计，针对性开发制造
l 结构紧凑，易搬运
l 针对六氟化硫气体可搭配液化回收装置
技术参数
尾气处理装置参数：
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处理速率 |
≥10Nm3/h |
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年泄漏率 |
≤1‰（任意位置检漏仪小于10ppmv） |
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极限真空度 |
≤50pa |
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电源 |
AC 380V±10% 50Hz |
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功率 |
＜3kW |
经过净化的SF6气体质量标准：
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露点 |
＜80μL/L |
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油份 |
＜10μL/L |
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固态颗粒直径 |
＜1μm |
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酸性物质 |
＜0.5μL/L |
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分解产物 |
＜1μL/L（以SO2、H2S、CO、HF的总和计） |
辅助液化回收装置参数：
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压缩速率 |
≥10Nm3/h |
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制冷剂 |
R404a |
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理论回收能力 |
15min内50kg液态六氟化硫（前级有充足气源） |
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电源 |
AC380V±10% 50Hz |
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功率 |
＜6kW |
898995850
