一、 主要功能特点
1、光机电一体化设计，外形结构简单；
2、扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强；
3、精密激光及探针定位装置，更换探针及调节光斑简单方便；
4、采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描；
5、马达自动脉冲控制驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域精确定位；
6、高精度大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域；
7、高精度大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同精度和扫描范围要求选择；
8、采用10X复消色差物镜CCD光学定位系统，实时观测与定位探针样品扫描区域；
9、模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护；
10、集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用。
二、 主要技术指标
1、工作模式：接触模式、轻敲模式，可选配摩擦力、相位、磁力或静电力
2、样品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm
3、扫描范围：XY向50um，Z向5um，可选配XY向20um，Z向2um
4、扫描分辨率：XY向0.2nm，Z向0.05nm
5、样品移动范围：±10mm
6、马达趋近脉冲宽度：10±2ms
7、图像采样点：256×256，512×512
8、光学放大倍数10X，光学分辨率1um
9、扫描速率0.6Hz~4.34Hz，扫描角度0~360°
10、扫描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A
11、数据采样：14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样
12、反馈方式：DSP数字反馈
13、反馈采样速率：64.0KHz
14、计算机接口：USB2.0
15、运行环境：运行于WINOOWs98/2000/XP/7/8操作系统
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