用待测薄膜将测试腔隔成两个独立的空间，向其中一侧（高压室）充入测试气体，在试样两侧形成一定的压差，高压室的气体透过薄膜渗透到低压室，通过测量低压室的压力或体积变化就可以得出气体的渗透率。
压差法和等压法的测试原理不同，测试条件不同，试验结果的单位也不相同（压差法的单位是cm3/m2?24h?0.1MPa，而等压法的单位是cm3/m2?d），所以由这两种测试方法得到的未经校正的原始数据，从理论上说不具备可比性。但通过使用标准膜标定等压法设备并将校正因子用于正式试验后，压差法和等压法的试验结果就可以比较了。
传感器法是随着氧探测器技术的不断成熟而出现的，由于使用的传感器属消耗型元件，所以，设备标定所得的校正因子并不是长期有效的，需要根据要求进行周期性设备标定，而且当传感器的损耗达到一定程度时必须更换。
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