低容量喷雾是对高容量喷雾相对而言的，主要区别在于喷雾时所采用的喷孔直径大小不同。一般所谓的高容量喷雾，系指喷雾器的喷孔直径为 1.3 毫米，低容量喷雾则是单位喷液量低于常量的喷雾方法，即将喷雾器上喷片的孔径由 0.9～1.6 毫米改为 0.6～ 0.7 毫米，在压力恒定时，喷孔改小，雾滴变细， 覆盖面积增加。超低容量喷雾法技术的新发展，大大降低了消毒液体的使用量，利用特殊设备喷洒，使药液的雾 点直径达到 80~120 微米或更细。说简单一点，就是使用最少的液体，能够达到最好的效果。
干雾化过氧化氢灭菌系统就是目前应用最新的超低容量喷雾技术，是通过对稳定高活性过氧化氢干雾的干雾化方法进行整体空间和表面的灭菌，喷射出的干雾颗粒小刀5~10微米，当液滴的平均直径小于10微米时，喷出的雾可以被称作是“干”的；小的液滴会从墙面上弹开并且不会破裂附着使表面潮湿。这种形式的特性决定了它们可以扩散到平时难以达到的区域。具有更好的消毒灭菌消毒。
干雾化过氧化氢灭菌系统以欧菲姆为代表，欧菲姆干雾灭菌系统，利用文丘里原理高速吸入空气，在喷头内给空气足够大的动能。让气体高速与消毒液碰撞产生直径小于5微米的干雾颗粒。让过氧化氢消毒液以干雾颗粒的形式弥散在需要灭菌的区域。通过专业的灭菌方案和软件，提供一整套彻底、便捷、安全、环保的最佳灭菌方法。
欧菲姆干雾灭菌设备杀菌能力强劲，对枯草黑色芽孢杆菌的杀灭率可以达到10-6次方，接近气态的干雾在空气中做布朗运动，扩散性好，能弥漫到每一个角落包括卫生死角，以网捕的形式在空气中作用并彻底杀灭微生物，完全分解微生物细胞内的功能DNA物质，杀灭各种细菌病毒微生物。
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