而在富氢的还原性气氛下熔制的石英玻璃如以H2为保护性气体的连熔炉熔制的石英玻璃，由于氧缺陷的存在，石英玻璃中的羟基亚稳状态，很容易扩散放出H2，如1~1.5mm厚的炼熔石英玻璃管在真空或流动的干燥N2、1050℃的脱羟条件下，经过2h即可脱出90%以上的羟基。
同样，若在富氢的还原性气氛下合成或气炼的石英玻璃，相同脱羟条件，也可大幅度增加脱羟量。
人们习惯于用“石英”这样一个简单的词汇来命名这种材料,这是不妥的,因为“石英”是二氧化硅结晶态的一种通称,它与玻璃态二氧化硅在理化性质上是有区别的.
1、色泽：石英玻璃是二氧化硅单一组分的玻璃,所以一定是无色的.普通玻璃一般都有些颜色.
2、火焰煅烧：用氢氧气火焰等可以超过一千度的温度煅烧,看软化轻的、燃烧无色的是石英玻璃.
石英玻璃属于典型的脆硬材料，光学冷加工难度大，加工效率低，其生产工艺较为复杂。建材报最近报道：中国建材总院项目组通过对精密加工技术的研发，引入或试制了多种精密加工设备，并开发、完善了集成开发掩膜版用高精度石英玻璃基片的精密加工技术与系统。
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