氩气、高纯氩气、超纯氩气，纯度可达99.999%以上，CAS:7440-37-1
| 项目 | 指标纯度% | ||||
| 高纯氩气(Ar) | 99.999 | 99.9995 | 99.9997 | 超纯氩 99.9999 | |
| 杂质含量(ppm) | 氮(N2) | ≤5 | ≤5 | ≤3 | ≤0.4 |
| 氧(O2) | ≤2 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.2 | |
| 氢(H2) | ≤1 | - | - | - | |
| 一氧化碳(CO) | - | ≤1 | ≤0.5 | ≤0.1 | |
| 二氧化碳(CO2) | - | ≤1 | ≤0.5 | ≤0.1 | |
| 水份 (H2O) | ≤4 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤0.2 | |
| 总烃类THC | ≤2 | ≤0.3 | ≤0.2 | ≤0.1 | |
氩气 http://www.kdgc.cn/GetKnowledge/zh-cn/High_purity_gas/Ar.aspx
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