供电电源 |
AC220V(AC110V可选) |
工作电流 |
整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
射频电源功率 |
150W |
射频频率 |
13.56MHz |
频率偏移量 |
<0.2MHz |
特性阻抗 |
50欧姆,手动匹配 |
耦合方式 |
电容耦合 |
真空度 |
≤100Pa |
腔体材质 |
高纯石英 |
腔体容积 |
2L(内径110MMX深度220MM) |
观察窗内径 |
Φ65 |
气体流量 |
10—100ml/min(其他量程可选) |
过程控制 |
过程手动控制 |
清洗时间 |
手动开关 |
开盖方式 |
铰链侧开式法兰 |
外形尺寸 |
400x380x360mm |
重量 |
23Kg |
真空室温度 |
小于65°C |
冷却方式 |
强制风冷 |
标配 |
KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本。 |
联系人:孟工(销售经理)
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