质量流量计桌面小型500W等离子清洗机KT-Z5KQX
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供电电源 |
AC220V（AC110V可选) |
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工作电流 |
整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
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射频电源功率 |
500W可调 |
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射频频率 |
40kHz |
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耦合方式 |
电容耦合 |
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真空度 |
≤30Pa |
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腔体容积 |
5L(内径 152mmX 深度 280mm) |
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载物规格 |
125mmX260mm |
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气体流量 |
0—50ml/min（其他量程可选） |
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气体路数 |
2 路质量流量计+精密流量控制阀 |
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过程控制 |
自动控制 |
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清洗时间 |
手动开关 |
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开盖方式 |
铰链侧开式法兰 |
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真空室温度 |
小于65°C |
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外形尺寸 |
450x450x250mm |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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标配 |
KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本，机械泵一台 |
联系人：孟工(销售经理)
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