伯东供应残余气体分析仪 PrismaPro_分子泵_伯东企业（上海）有限公司

Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro
上海伯东德国 Pfeiffer 残余气体分析仪(四级杆质谱仪)集高灵敏度, 高稳定性和智能操作于一体, 配置新一代的操作软件 PV MassSpec, 可定量定性评估真空系统中的残余气体成分. 可检测分压 3 X10-15 hPa.
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 特性:
模块化设计保证兼容性, JSON 编程界面和多种接口易于系统集成
分析仪器和电子单元可灵活互换
双灯丝延长工作时间
可检测分压 3 X10-15 hPa
可直接连接真空计, 方便测量压力

Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 技术参数:

型号	QMG 250 F1	QMG 250 F2	QMG 250 F3	QMG 250 M1		QMG 250 M2	QMG 250 M3
检测器	法拉第 Faraday (F)			电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
质量数 amu	1–100	1–200	1–300	1–100		1–200	1–300
四极杆直径／长度	6 /125 mm
最小检测极限 F hPa *1,2	4X10-13	5X10-13	7X10-13	-		-	-
最小检测极限 M hPa *1,2	-	-	-	3X10-15		4X10-15	5X10-15
对Ar的灵敏度 F A/hPa*3	5X10-4	4X10-4	3X10-4	5X10-4		4X10-4	3X10-4
工作压力 F hPa	5X10-4
工作压力 M hPa	-	-	-	5X10-5		5X10-5	5X10-5
对临近质量数的影响*1	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm	< 10 ppm		< 20 ppm	< 50 ppm
操作温度分析	200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作温度电子	5 – 50 °C
烘烤温度分析	300 °C
连接法兰	DN 40 CF-F
保压时间	1 ms – 16 s/amu
重量	2.5 kg				3.2 kg

* 1  开放式离子源,
* 2  停留时间 4秒
*3   与 C-SEM相比, 具有较高的灵敏度
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 标准通讯接口:
pfeiffer PrismaPro
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 可扩展的通讯接口:
PrismaPro 残余气体分析仪
Pfeiffer 残余气体分析仪结构视频

Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 技术参数:

型号	QMG 250 F1	QMG 250 F2	QMG 250 F3	QMG 250 M1		QMG 250 M2	QMG 250 M3
检测器	法拉第 Faraday (F)			电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
质量数 amu	1–100	1–200	1–300	1–100		1–200	1–300
四极杆直径／长度	6 /125 mm
最小检测极限 F hPa *1,2	4X10-13	5X10-13	7X10-13	-		-	-
最小检测极限 M hPa *1,2	-	-	-	3X10-15		4X10-15	5X10-15
对Ar的灵敏度 F A/hPa*3	5X10-4	4X10-4	3X10-4	5X10-4		4X10-4	3X10-4
工作压力 F hPa	5X10-4
工作压力 M hPa	-	-	-	5X10-5		5X10-5	5X10-5
对临近质量数的影响*1	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm	< 10 ppm		< 20 ppm	< 50 ppm
操作温度分析	200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作温度电子	5 – 50 °C
烘烤温度分析	300 °C
连接法兰	DN 40 CF-F
保压时间	1 ms – 16 s/amu
重量	2.5 kg				3.2 kg

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