日本ANELVA真空计M-336MX-SP/N25_ANELVA_南京易鸣机电设备有限公司

日本ANELVA真空计M-336MX-SP/N25

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南京易鸣机电设备有限公司
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介绍

低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつクリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュアB-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定できます。

特長

クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせたコンビネーションゲージ
超高真空から大気圧
高精度、低真空領域において優れた再現性

用途

真空装置の粗引き?9?9到達圧力測定、半導体?9?9電子部品製造装置の圧力測定など

仕様

型　名圧力測定範囲^※1入力電圧消費電力アナログ出力セットポイントインターフェース入出力コネクタ最大ケーブル長保護規格使用温度範囲^※2保存温度範囲^※2センサ－型名センサー材質（主要部）外形寸法（mm）フランジ形状保護規格RoHS, CEマーキング

クリスタルイオンゲージ
M-336MX-SP セットポイント付タイプ	M-336MX-RS RS485タイプ
4×10^-8～1×10⁵（Pa）
DC+20～28V
12W
0～10V	－
2点出力
－	RS485
D‐sub9ピン
300m（1mm²）^※3
IP40対応
5～50℃
-20～70℃（非動作時）
MX-1
フィラメント：Y2O3/Ir、ケース：SUS304
149×70×50（NW25）
NW16、NW25、NW40、φ70ICF
IP40
対応