吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在 20K时氢的蒸气压力等于大气压力，用 20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8 帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。③低温捕集：在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。一般说来，泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。温度为120K时，水的蒸气压已低于10-8帕。
动密封多用轴封，上轴封时要细心，先检查轴封本身有无缺陷，密封面是否平整，轴封簧弹性如何，在轴封内侧可薄薄地涂上一层真空脂，上轴封时用力要均，骨架轴封不要压偏了，偏了就会漏油、漏气，轴封簧别挤进去，没了轴封簧轴封就失效了。注意轴封与轴的同心度，有的泵是用对轮连接的，对轮的同轴性要求很严格，装配时要从轴的四面去量，保证平行一致。罗茨泵的对齿轮调整的关键是两个8型齿轮不相碰。
随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。
对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。
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