不论是用汽油还是其他溶剂清洗的真空泵件，一定要等到汽油或溶剂彻底挥发了才能进行装配。真空泵油若与其他的油或溶剂或水混合会破坏其性能，影响真空泵的性能指标。胶圈要擦干净，仔细检查有无缺陷和裂纹，尺寸是否正确，尺寸不对将影响密封。凡是有加热位置的胶圈，每次拆卸清洗时必须换，比如油增压泵各个接口，装配时泵件同样需要轻拿轻放;紧螺丝时用力要均，要从对角紧起。
闭路循环气氦制冷机低温泵：它是70年代出现的新型低温泵。这种泵不消耗氦气、操作简便，易于维修，应用日渐广泛。制冷机的制冷介质为气氦，一级冷板温度为50～100K，用来冷凝水蒸汽和预冷其他气体;二级冷板温度为10～20K，用来冷凝氮、氧和氩等气体。在二级冷板的内表面涂以活性炭。活性炭的比表面积为500～2500米2／克，在低温下对氦、氖和氢有很强的吸附能力。冷板由无氧铜制成，表面抛光达到镜面程度，以减小辐射系数。
工时利用率指的是单位工作时间内净工作时间和制度工作时间的比值。真空设备制造企业一般都具有产品品种多，生产批量小，产品加工工序多的特点。如果管理人员不能与时俱进地更新管理知识，在安排工作时没能做好工序间的衔接，会出现停工工时，降低工时利用率；此外，员工的技术操作水平、工作责任心和积极性，缺勤工时和非生产工时等因素也会造成工时利用率降低。
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