不论是用汽油还是其他溶剂清洗的真空泵件，一定要等到汽油或溶剂彻底挥发了才能进行装配。真空泵油若与其他的油或溶剂或水混合会破坏其性能，影响真空泵的性能指标。胶圈要擦干净，仔细检查有无缺陷和裂纹，尺寸是否正确，尺寸不对将影响密封。凡是有加热位置的胶圈，每次拆卸清洗时必须换，比如油增压泵各个接口，装配时泵件同样需要轻拿轻放;紧螺丝时用力要均，要从对角紧起。
与射水抽气器比较，离心真空泵有耗功低、耗水量少的优点，并且噪声也小。离心真空泵的缺点是：过载能力很差，当抽吸空气量太大时，真空泵的工作恶化，真空破坏。这对真空严密性较差的大机组来说是一个威胁。故可考虑采用离心真空泵与射水抽气器共用的办法，当机组起动时用射水抽气器，正常运行时用真空泵来维持凝汽器的真空。
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。 这种泵具体可分为：
牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。
涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
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