沈阳诺思真空技术有限公司成立以来,一直致力于真空应用技术的发展与进步,设计全部采用三维立体软件,长期与中科院长春光机所、北方夜视集团、西安应用光学研究所、中船重工717所、西安北方捷瑞光电科技有限公司、中电集团第33所、云南北方驰宏光电有限公司、中物院激光聚变研究中心等科研单位合作,并且在极高真空应用领域已拥有较高的声誉。

罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。

为了减少液氦消耗,液氦容器的外壁采用双层保温壁并在其间抽成真空。当泵被预抽到10-6帕压力时灌入液氮和液氦,气体凝结在4.2K的工作冷板上。经预抽使氦氢分压到10-12帕数量级,故泵可获得10-11帕以下的极限压力。如果把液氦容器抽真空减压到6650帕,液氦温度可降到2.3K,则可得到更低的极限压力。
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。 这种泵具体可分为:
牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。
涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
