吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在 20K时氢的蒸气压力等于大气压力，用 20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8 帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。③低温捕集：在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。一般说来，泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。温度为120K时，水的蒸气压已低于10-8帕。
当前中国面临的经济形势情况复杂多变,随着一系列经济政策的推行,中国很可能会出现经济增长适度减速的趋势。从我国目前行业数据统计及机构预测情况来看,我国真空设备制造企业受国家固定资产投资减少的影响较大,市场发展态势不容乐观。行业客户结构中传统企业技改动力不足,只有央企和大型企业集团的新建项目仍在惯性推进,但整体后劲不足。当前真空行业发展同时面临多个因素的制约,一是原材料、燃料、动力、大宗商品价格持续上涨推升企业成本；而且劳动力价格上涨使招工难成为行业企业的普遍难题,行业间的人才竞争加剧。
闭路循环气氦制冷机低温泵：它是70年代出现的新型低温泵。这种泵不消耗氦气、操作简便，易于维修，应用日渐广泛。制冷机的制冷介质为气氦，一级冷板温度为50～100K，用来冷凝水蒸汽和预冷其他气体;二级冷板温度为10～20K，用来冷凝氮、氧和氩等气体。在二级冷板的内表面涂以活性炭。活性炭的比表面积为500～2500米2／克，在低温下对氦、氖和氢有很强的吸附能力。冷板由无氧铜制成，表面抛光达到镜面程度，以减小辐射系数。
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