干式真空泵的几种选择类型列表如下：
1 双圆裂片式
双圆裂片式计划和当时最盛行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上，一些最前期的干泵计划思想即是将罗茨泵叠加起来。这种多级计划使得气体通路恰当凌乱，并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔绝作用 低。
2 三叶圆裂片式
三叶圆裂片式计划和双圆裂片式计划的原理彻底一样，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种计划有着一样的利益和缺点。为了进一步下降耗电量，在传动有些有的厂家选用两个直流马达，但这也会致使扭矩减小，重新启动的才干—下降。同双圆裂片式计划一样，三叶圆裂片式计划的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔绝作用。
3 组合式(罗茨+爪)
组合式(罗茨+爪)计划用罗茨来前进在较低压力下的抽气功率，用爪来前进在较高压力下的抽气功率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式计划彻底一样。
在外部紧缩型螺杆式计划中，运用一对等距螺杆。这使得内部紧缩减到最小，一同使得气体通路最短也最简略。这样，气体在泵体内停留的时间也最短。尽管这种计划由于减少了内部的紧缩比而使得其耗电量相对较高，但在许多凌乱的半导体技能中表现出极高的稳定性。这种单级计划使得其对氮气用量的需要也非常小并且简略，这样就使得其在不一样技能中有极好的互换性。在许多清洁的技能中甚至可以不用氮气。
真空泵常常破损缘由很简单即是客户对真空泵的保护不够，忽略了对它的养护。在对真空泵维修的过程中发现，泵里边全都是水，正常情况下泵里边应该是油，泵在抽真空的一起也把水抽到泵里，产生了很多的油水化合物，泵在作业的时分，很多水的存在使泵的负荷量增大，长时间下来泵也就会出问题了。
真空干燥箱关于所烘的物料是有需求的，其一是不能富含很多的水，其二是不能富含有机化合物；二者在抽真空的同事会被泵抽进体内，然后产生一系列的不良反应，影响泵的运用寿命。假如物料含水或者是有机溶剂，得加液态水过滤器和冷凝器，起到一个过滤的效果。
咱们在运用真空干燥箱的一起，也必定要加强关于真空泵的保护，及时给真空泵换油，延伸它的运用寿命。
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