杂交泵是旋片泵与抗化学腐蚀隔膜泵的组合体。它通过抗化学腐蚀的隔膜泵吸出滞留在旋片泵内的气体，使腐蚀性气体在旋片泵内的时间和数量大幅减少，进而大幅提高旋片泵的使用寿命，同时保留旋片泵制造的高真空。
杂交泵主要特点：
抗化学腐蚀能力强，适用于抽化学活性强的气体和蒸汽
耐蒸汽能力强，适用于在抽排过程中会产生大量蒸汽的场合
配有减压阀，确保杂交泵的使用安全
配有油腔气泡装置，增大油的表面积，更快地释放出油内的残留物质
配有液气分离瓶，截留冷凝的液体
旋片泵的极限真空能力不受影响，并大幅延长其使用寿命和维护间隔
只用一个开关可同时开启和关闭杂交泵
杂交泵技术参数：
|
型号 |
电压 |
最终压力 mbar |
抽吸速度 |
重量 (kg) |
编号 |
|
|
m3/h |
l/min |
|||||
|
Chemvac P6Z-101 |
230V 50Hz |
<2×10-3 |
5.8 |
96.0 |
25.5 |
109030 |
|
Chemvac P12Z-301 |
230V 50Hz |
<2×10-3 |
11.0 |
183.0 |
42.5 |
109031 |
|
Chemvac P23Z-301 |
230V 50Hz |
<2×10-3 |
21.0 |
350.0 |
46.0 |
109032 |
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