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硅片光刻预处理真空烘箱,200度真空镀膜机 

  • 价 格: 面议 /
  • 供 应 地:上海上海市
  • 发布公司:上海旦顺实业有限公司
  • 产品型号:
  • 品 牌:上海旦顺
  • 发布日期:2014/9/2 9:10:35
  • 联系人QQ:147224984 点击这里给我发消息

详细说明

产品说明Explain

公司简介Content


硅片光刻预处理真空烘箱,200度真空镀膜机HMDS预处理系统的必要性:
      在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。
        硅片光刻预处理系统(OAP真空烘箱)用于硅片光刻前预处理,以增加光刻胶粘结牢度,提高光刻质量及良品率。
      设备构成及控制方式:设备主要由腔体,电气控制箱以及真空泵组成。采用可编程控制器、操作界面为5.7”  E-view触摸屏加外部常用按钮控制。
一、动力要求
    电源:AC380V,3相,50Hz,12KAV
    压缩空气:0.5MPa,  外径8mm接口
    氮        气:0.5MPa,外径8mm接口
    排        风:烘箱排风接口外径90,泵排风接口外径45
二、标准配置
1.烘箱主机
2.机械泵    
3.电磁真空带充气截止阀
4.40金属波纹真空管    
5.机械泵小车      
6.电磁控制阀  
真空镀膜机热线:021-37693997,15221744475  传真:021-37832075联系人:蒋鑫,
网站:www.done-e.com.

硅片光刻预处理真空烘箱,200度真空镀膜机

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上海旦顺实业有限公司

联系人:蒋鑫(销售经理)

手机:15221744475

邮箱:sale@done-e.com

地址:上海上海市上海市奉贤区沪杭公路3217号

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  • 认证类型:企业认证
  • 企业证件:已通过企业认证 [已认证]
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  • 主营产品:防潮箱防潮柜 烘箱烤箱干燥机 高低温试验机 恒温恒湿机
  • 公司所在地:上海上海市