多入射角激光椭偏仪EM01-RD_多入射角激光椭偏

产品介绍：
性能特点如下：
EM01-RD多入射角激光椭偏仪（研发级）已升级至EMPro31  极致型多入射角激光椭偏仪，主要升级内容包括：
单次测量速度提高3倍
新的仪器外形
整体稳定性增强

纳米薄膜高端研发领域专用的多入射角激光椭偏仪，用于纳米薄膜的厚度、折射率n、消光系数k等参数的测量。适用于光面或绒面纳米薄膜测量、块状固体参数测量、快速变化的纳米薄膜实时测量等不同的应用场合。采用量拓科技多项专利技术，仪器操作具有个性化定制功能，方便使用。

*特点：
高精度、高稳定性
一体化集成设计
快速、高精度样品方位对准
多入射角度测量
快速反应过程的实时测量
操作简单
丰富的材料库及物理模型
强大的数据分析和管理

*应用领域：
可对纳米薄膜层构样品的薄膜厚度、折射率n及消光系数k进行快速、高精度、高准确度的测量，尤其适合于科研和工业产品环境中的新品研发
可用于表征单层纳米薄膜、多层纳米层构膜系，以及块状材料（基底）。
应用领域涉及纳米薄膜的几乎所有领域，如微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、电化学、磁介质存储、聚合物及金属表面处理等。

*性能保证：
高稳定性的He-Ne激光光源、高精度的采样方法以及低噪声探测技术，保证了系统的高稳定性和高准确度
高精度的光学自准直望远系统，保证了快速、高精度的样品方位对准
稳定的结构设计、可靠的样品方位对准，结合先进的采样技术，保证了快速、稳定测量
分立式的多入射角选择，可应用于复杂样品的折射率和绝对厚度的测量
一体化集成式的仪器结构设计，使得系统操作简单、整体稳定性提高，并节省空间
专用软件方便纳米薄膜样品的测试和建模。

技术参数：

激光波长

632.8nm  (He-Ne  laser)

膜厚测量重复性

0.01nm  (对于Si基底上110nm的SiO2膜层)

折射率精度

1x10-4  (对于Si基底上110nm的SiO2膜层)

光学结构

PSCA

激光光束直径

<1mm

入射角度

40°-90°可选，步进5°

样品方位调整

三维平移调节

二维俯仰调节

光学自准直系统对准

样品台尺寸

Φ170mm

单次测量时间

0.2s

推荐测量范围

0-6000nm

最大外形尺寸(长x宽x高)

887  x  332  x  552mm  (入射角为70o时)

仪器重量（净重）

25Kg

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www.xiongdijt.com
www.xiongdi1.com
www.zgyqsb.com
www.qqsbw.com
www.yiqi9.com

多入射角激光椭偏仪EM01-RD

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河南兄弟仪器设备有限公司

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