波长扫描时式多入射角光谱椭偏仪ESS03_波长扫描时式多

产品介绍：
性能特点如下：
EM01-PV-III多入射角激光椭偏仪（光伏专用）已升级至EMPro-PV极致型多入射角激光椭偏仪，主要升级内容包括：
单次测量速度提高3倍；
绒面测量精度提高66%；
新的仪器外形，整体稳定性增强。
EM01-PV-III为太阳能电池测试专用激光椭偏仪，用于单晶硅、多晶硅以及薄膜太阳能电池的膜厚和折射率测量，产品提供单晶硅专用太阳能电池样品台。

*特点：
高精度、高稳定性
特定角度样品台，适合单晶硅太阳能电池的测量
适合绒面测量
操作简单
快速测量
快速、高精度样品方位对准
多角度测量
一体化集成设计

*应用领域：
单晶、多晶及各种薄膜太阳能电池的折射率和膜厚测量领域，既适合科研院所研究使用，亦适合工厂进行工艺研究分析和产线上产品检测。

*性能保证：
高稳定性的He-Ne激光光源、高精度的采样方法以及低噪声探测技术，保证了系统的高稳定性和高准确度
高精度的光学自准直望远系统，保证了快速、高精度的样品方位对准
稳定的结构设计、可靠的样品方位对准，结合先进的采样技术，保证了快速、稳定测量
分立式的多入射角选择，可应用于复杂样品的折射率和绝对厚度的测量
一体化集成式的仪器结构设计，使得系统操作简单、整体稳定性提高，并节省空间
专用软件方便太阳能电池测试和建模

技术参数：
激光波长  632.8nm(He-Ne  laser)
膜厚测量重复性  0.05nm(对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层)
折射率精度  5x10-4(对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层)
结构  PSCA
激光光束直径  <1mm
入射角度  40°-90°可选，步进5°
样品方位调整：
三维平移调节：±12.5mm（X-Y-Z三轴）
二维俯仰调节：±4°
光学自准直系统监视
样品台尺寸  Φ170mm
单次测量时间  典型1.1s
推荐测量范围  0-2000nm
最大外形尺寸(长x宽x高)  980  x  660  x  430mm  (入射角为90o时)

*可选配件：
NFS-SiO2/Si二氧化硅纳米薄膜标片
NFS-Si3N4/Si氮化硅纳米薄膜标片
VP01真空吸附泵
VP02真空吸附泵

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www.xiongdijt.com
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波长扫描时式多入射角光谱椭偏仪ESS03

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河南兄弟仪器设备有限公司

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