真空除水的效果主要与工作真空度和油液温度有关。真空度越低，温度越高，除水效果越好。油温一般为60℃左右，温度过高将加速油液的氧化。对于液压油，真空度一般在600～700Pa，可使油中的含水量降至100ppm以下。对于变压器绝缘油，可采用更高的真空度，含水量可降到10ppm。
真空脱水能够有效去除油液中各种状态的水，并能去除油液中的空气和各种挥发性物质。
清除水油中的游离水和溶解水通过降低润滑性、氧化和形成酸而使油液变质，不含水的油液即使曝露于高温也不容易氧化和形成有机酸。有机酸化合物的存在导致腐蚀。水加快油液的热降解而生成颗粒或含碳物质。水的存在还引起油液聚合而形成大分子。聚合作用造成粘度改变，生成就堵塞节流孔和使系统元件磨损而言有害的固体。ZLYC高效真空滤油机能够清除100％的游离水和95％以上的溶解水。
LYC-Z系列真空脱水滤油机能够清除100％的游离空气和多达75％的溶解空气，空气在油液通过真空罐时被清除。其他气体视循环时间被减少到微量。
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