超纯水设备系统主要是对原水进行预处理及精处理，以达到去除水中的有机物、无机物、胶体、溶解性离子、颗粒物，满足终端用户超纯水水质要求。
超纯水设备是反渗透系统跟离子交换混床或EDI相结合配套使用，是目前制取高纯水工艺流程中非常重要的手段。而反渗透系统是其中的重要组成部分，并且也是超纯水设备运行中比较容易出问题的一个环节部分。
超纯水设备可以简单的分为三类，它们本身的工艺不同，所产水质也会不同。对于发电厂来说，使用超纯水设备制取的水质要不含任何杂质，必须达到制定的超纯水标准。如下：
1、EDI超纯水设备工艺采用的是一种传统除盐方法，这套设备需要大量酸碱溶液对离子交换树脂再生。这样会增加设备的使用成本，也会在处理过程中产生污染。
2、工业超纯水设备工艺是对传统除盐方法进行升级，工业超纯水设备需要涉及混床，这套工业超纯水设备起到一个改良效果，费用相对降低。
3、医药超纯水设备采用的工艺是超纯水设备中制取工艺，它能完全除去盐以及超纯水设备中的酸碱，这套设备在制作过程中没有污染，是水处理行业中公认的绿色除盐设备。
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