超纯水设备是反渗透设备跟离子交换混床或EDI相结合配套使用，离子交换混床是通过离子交换树脂在电解质溶液中进行的，可去除水中的各种阴、阳离子，是目前制取高纯水工艺流程中不可替代的手段。离子交换器分为阳离子交换器、阴离子交换器等。 当原水通过离子交换柱时，水中的阳离子和水中的阴离子(HCO3-等离子)与交换柱中的阳树脂的H+离子和阴树脂的OH-离子进行交换，从而达到脱盐的目的。阳、阴混柱的不同组合可使水质达到更高的要求。
如何减少硅片清洗超纯水设备出现故障的频率
1、在取得水质后进行全方面的水质分析，并在此基础上设计上反渗透系统。
2、在进行设计前确定RO进水SDI值。
3、如果进水水质变化，需要做出相应的设计调整。
4、必须保证足够的预处理。
5、选择适用于硅片清洗超纯水设备的膜元件，醋酸纤维素膜或者低污染膜元件对于处理比较复杂的地表水或污水可能更为适用。
6、在水通量的选择方面，尽量采用一些常用数据。
7、在回收率方面，不一定要求靓的多少，适合为宜。
8、横向流速及浓水流速要求尽量的大。
9、整个设备的每一项数据都要求标准化。
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