超纯水设备是采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
晶圆用超纯水设备关闭再开启操作
1、关闭每一个EDI膜块的单独电源提供装置。
2、将系统的各个阀门的状态调节到EDI膜块循环状态。
3、此时要关闭反渗透单元的产水输送泵。
4、上面工作做好之后，再次启动反渗透产水输送泵。
5、关闭每个EDI模块的进水阀隔离阀。
6、依照EDI膜块开启顺序仔细检查，启动电子显示器清洗用超纯水设备。
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