超纯水设备系统主要是对原水进行预处理及精处理，以达到去除水中的有机物、无机物、胶体、溶解性离子、颗粒物，满足终端用户超纯水水质要求。
超纯水设备是反渗透系统跟离子交换混床或EDI相结合配套使用，是目前制取高纯水工艺流程中非常重要的手段。而反渗透系统是其中的重要组成部分，并且也是超纯水设备运行中比较容易出问题的一个环节部分。
晶圆用超纯水设备优点
为满足用户需要，达到符合标准的水质，尽可能地减少各级的污染，延长超纯水设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量。
在工艺设计上，取自来水为源水，再设有介质过滤器，活性炭过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等。
系统中水箱均设有液λ控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人职守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。
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