臭氧脱硝性能特点：1.脱硝效率高可以达到90%以上，可达超净排放要求。2.可以适应锅炉任何负荷。3.不需要改造锅炉，只需要在烟道上合适位置喷入臭氧。4.充分利用现有湿法脱硝设施，达到脱硫脱硝一体化。5.可与SNCR、SCR配合，相互补充，既节省运行费用，又能实现任何工况下达标排放。
除去烟气中的NOx，NOx主要是NO和NO2组成，而NO含量占90%以上。要除去烟气中的NO和NO2，就必须研究NO和NO2的性质。NO是一种惰性氧化物，它虽然溶于水，但不能生成氮的含氧酸。在0℃时，一体积水可溶解0.07体积的NO。NO特殊的化学性质是加合作用，在常温下能与空气中的氧化合，生成红棕色的NO2。
传统的烟气臭氧脱硝工艺已经不能满足严格的减排要求，传统的工艺也存在设备投资高、占地面积大等缺点，因此开发工艺简单、可靠的脱硫脱硝工艺具有重要意义。
臭氧脱销无非是脱掉烟气中的NOx，烟气中NOx的主要组成部分是NO，臭氧的高级氧化作用可以达到脱除效果，而且烟气中的其他有害气体也可以脱除。臭氧作为一种强氧化剂，可以容易的将NO氧化成可溶于水生成HNO2和HNO3的NO2、N2O3、N2O5等高价态氮氧化物。然后采用溶液进行吸收，最终将NOx 转化为N2达到脱除的目的，NOx的去除率高达90%以上。
臭氧脱硝无需像SCR需要停机改造特别是发电行业和蒸气使用行业;SCR停机改造三个月带来的各种损失，风阻带来的风机功率增加，是很多企业在环保压力下进行改造没有充分考虑的一笔不小的损失，静态投资所占资金的dai款利率、固定资产拆旧残值，资本现金流财务内部的收益率等。
在NOx的初始值较高的锅炉燃煤烟气，由于氧化后的吸收问题，建造有条件的进行低氮改造(改造后的效率在20%左右)，在温度区间800-950℃窗口进行SNCR改造，循环流化床的效率在40-60%左右，然后使用臭氧氧化脱硝工艺，效率在60-90%左右，理论值在不考虑成本的情况下，臭氧脱硝可以100%脱除。
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