传统的烟气臭氧脱硝工艺已经不能满足严格的减排要求，传统的工艺也存在设备投资高、占地面积大等缺点，因此开发工艺简单、可靠的脱硫脱硝工艺具有重要意义。
臭氧脱销无非是脱掉烟气中的NOx，烟气中NOx的主要组成部分是NO，臭氧的高级氧化作用可以达到脱除效果，而且烟气中的其他有害气体也可以脱除。臭氧作为一种强氧化剂，可以容易的将NO氧化成可溶于水生成HNO2和HNO3的NO2、N2O3、N2O5等高价态氮氧化物。然后采用溶液进行吸收，最终将NOx 转化为N2达到脱除的目的，NOx的去除率高达90%以上。
臭氧脱硝废气处理方案技术原理，臭氧对NO的氧化效率可达84%以上，结合碱吸收法，脱硫率近100%，脱硝效率也在O3/NO摩尔比为0.9时达到86.27%。将臭氧通入烟气中对NO进行氧化，然后采用碱液进行吸收，终将NOx转化为N2，NOx的去除率高达95%，SO2去除率约为100%。
通过实验将O3注入烟气进行脱除SO2、NOx的研究，然后采用碱吸收塔对烟气进行洗涤，结果表明NOX的脱除率与O3的注入量有关，当O3加入量为200ppm时，NOX的脱除效率可达到85%，此工艺对NOX和SO2的脱除率高可分别达到97%和100%。
采用此技术可得到较高的NOX脱除率，典型的脱除范围为70%～90%，甚至可达到95%，并且可在不同的NOX浓度和NO/NO2的比例下保持高效率。也不存在类似SCR中NH3的泄漏问题。该技术应用中SO2和CO的存在不影响NOX的去除，也不影响其他污染物控制技术。
臭氧脱硝一般是将氮氧化物氧化到高价态NO2或N2O5，这样可根据烟气总量、烟气中的NOX的各种浓度等数据，就可以计算得到所需的臭氧量，再预留一定的余量即可。
还需要一套臭氧喷射投加装置，可通过多喷头、喷嘴都可实现，也包括各种阵列的打孔技术，远比SCR的喷氨格栅简单。
同时脱硫脱硝，在同一个洗涤塔内完成NOX和SOX的洗涤。由于氮氧化物主要以NO为主，NO并不能在装置中与SO2同时被碱液吸收，这就需要先用强氧化剂将NO氧化为高价态，比如氧化成NO2或N2O5。因此次只需要增加与将氮氧化物转化为高价态相当的臭氧发生器、氧气供应系统臭氧投加装置，即可在脱硫时同时实现脱硝。
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