臭氧脱硝无需像SCR需要停机改造特别是发电行业和蒸气使用行业;SCR停机改造三个月带来的各种损失，风阻带来的风机功率增加，是很多企业在环保压力下进行改造没有充分考虑的一笔不小的损失，静态投资所占资金的dai款利率、固定资产拆旧残值，资本现金流财务内部的收益率等。
在NOx的初始值较高的锅炉燃煤烟气，由于氧化后的吸收问题，建造有条件的进行低氮改造(改造后的效率在20%左右)，在温度区间800-950℃窗口进行SNCR改造，循环流化床的效率在40-60%左右，然后使用臭氧氧化脱硝工艺，效率在60-90%左右，理论值在不考虑成本的情况下，臭氧脱硝可以100%脱除。
臭氧脱硝主要是利用臭氧的强氧化性，将不可溶的低价态氮氧化物氧化为可溶的高价态氮氧化物，然后在洗涤塔内将氮氧化物吸收，达到脱除的目的。
低温条件下，O3与 NO间的关键反应如下：
NO+O3→NO2+O2 （1）
NO2+O3→NO3+O2 （2）
NO3+NO2→N2O5 （3）
NO+O+M→NO2+M （4）
NO2+O→NO3 （5）
臭氧脱硝过程是利用氧化性极强的臭氧气体将烟气中的 NO 转换为易溶于水的 NOx，产物在后级脱硫塔中被吸收。因此脱硝过程不产生直接的副产物。也不需要新建洗涤吸收塔，只需要新建臭氧发生装置。臭氧脱硝可以达到90%以上的脱硝效率。
臭氧脱硝是利用臭氧2.07V的强化氧化电位把低价态的NO氧化成高价态的NO2、NO3、N2O5等复杂的化学反应。王鹏博士利用不同的臭氧浓度在不同温度区间、不同的反应时间和相同的脱硫液分析，脱除的效率是不相同的。低浓度存在氧化不彻底，脱除效率低，臭氧浓度高存在过氧化等现象。
不能充分考虑系统工艺，会造成NOx指标达标，但烟气颜色的感官指标问题。目前已有企业在盲目使用，造成了烟气黄棕色，也有的出现蓝烟等现象。
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