臭氧脱硝性能特点：1.脱硝效率高可以达到90%以上，可达超净排放要求。2.可以适应锅炉任何负荷。3.不需要改造锅炉，只需要在烟道上合适位置喷入臭氧。4.充分利用现有湿法脱硝设施，达到脱硫脱硝一体化。5.可与SNCR、SCR配合，相互补充，既节省运行费用，又能实现任何工况下达标排放。
除去烟气中的NOx，NOx主要是NO和NO2组成，而NO含量占90%以上。要除去烟气中的NO和NO2，就必须研究NO和NO2的性质。NO是一种惰性氧化物，它虽然溶于水，但不能生成氮的含氧酸。在0℃时，一体积水可溶解0.07体积的NO。NO特殊的化学性质是加合作用，在常温下能与空气中的氧化合，生成红棕色的NO2。
臭氧脱硝经过氧化反应，加入的臭氧被反应所消耗，过量的臭氧可以在喷淋塔中分解。除了 NOx之外，一些重金属，如gong及其他重金属污染物也同时被臭氧所氧化。烟气中高浓度的粉尘或固体颗粒物不会影响到 NOx 的脱除效率。
臭氧脱硝可应用于：以煤、焦炭、褐煤为燃料的公用工程锅炉；以燃气、煤、重油为燃料的工业锅炉；铅、铁矿、锌/铜，玻璃、水泥加工、生产的各种炉窑；用于处理生物废料，轮胎及其他工业废料的燃烧炉；来自于酸洗和化工过程的酸性气流；催化裂化尾气；各种市政及工业垃圾焚化炉等。
臭氧脱硝一般是将氮氧化物氧化到高价态NO2或N2O5，这样可根据烟气总量、烟气中的NOX的各种浓度等数据，就可以计算得到所需的臭氧量，再预留一定的余量即可。
还需要一套臭氧喷射投加装置，可通过多喷头、喷嘴都可实现，也包括各种阵列的打孔技术，远比SCR的喷氨格栅简单。
同时脱硫脱硝，在同一个洗涤塔内完成NOX和SOX的洗涤。由于氮氧化物主要以NO为主，NO并不能在装置中与SO2同时被碱液吸收，这就需要先用强氧化剂将NO氧化为高价态，比如氧化成NO2或N2O5。因此次只需要增加与将氮氧化物转化为高价态相当的臭氧发生器、氧气供应系统臭氧投加装置，即可在脱硫时同时实现脱硝。
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