多晶硅是高纯半导体材料。保证产品的高纯度质量,是本项目实施的根本。多晶硅工业生产中工艺设备、管道的洁净度要求极高,安装工作中所完成的工艺设备、管道的清洗洁净程度,直接影响到全工艺系统是否能生产出达标的产品。某些不洁净物残留在工艺系统中,甚至会造成较长时间也无法生产出合格产品的恶果,并形成安全隐患。鉴于清洗洁净工作的极端重要性,为保证工艺管道、设备清洗洁净工作的规范、高质、有序的开展,使工艺管道、设备系统内表面达到洁净要求,清洗后产品质量必须
符合化工行业标准《工业设备化学清洗质量标准》(HG/T2387-2007)
化工行业标准《脱脂工程施工及验收规范》(HG20202—2000)。
清洗工程技术部:028-88411455 18781997731