一、预处理常常由全自动石英沙过滤器，全自动活性碳过滤器，全自动软化过滤器，精密过滤器组成，主要目的是去除原水中含有的泥沙、铁锈、胶体物质、悬浮物，色素、异味、生化有机物，降低水的余氨值及农药污染等有害的物质。如果原水中钙镁离子含量较高时，需增加软水装置，主要目的在于保护后级的反渗透膜不受大颗粒物质的破坏，从而延长反透膜的使用寿命。
二、反渗透主机主要由增压泵，膜壳，反渗透膜，控制电路等组成，是整个水处理系统中的核心部分，产水水质的好坏最主要也取决该部分。只要膜的型号及增压泵的型号选取得当，反渗透主机对水中盐分的过滤能力都能达到99%以上，出水电导率可保证在10us/cm（25度）以内。
三、后处理部分主要是对反渗透主机制取的纯水作进一步的处理，如果后续工艺接离子交换或电渗析（EDI）设备，则可以制取工业用高精度超纯水，如用在民用直饮水工艺上，则常常接后置杀菌装置，例如可以接纸外线杀菌灯或者臭氧发生器，从而使出来的水可以直接饮用。
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