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GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅谢仪 |
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GSL-1100X-SPC-16 |
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本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 |
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1、水：不需要 |
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2、电：AC220V50Hz,必须有良好接地 |
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3、气：设备腔室内需充注氢气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀） |
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4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上 |
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5、通风装置：不需要 |
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1、电源：220V |
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2、总功率：<2000W(包括镇空泵) |
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3、真空室：0160mm×120mm |
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4、样品台：O50mm,且高度可调，可同时进行8个SEM样品的镀膜 |
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5、max均匀镀膜：045mm |
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尺寸：400mmx300mm×400mm |
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重量：30KG |
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1、金靶材1个 |
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2、进气针阀1个 |
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3、保险丝2个 |
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金、铟、银、铂等各种靶材 |
联系人：黄女士(销售代表)
手机：13534522157
邮箱：287703728@qq.com
898995850
