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产品名称 |
VTC-16-3HD3靶等离子溅射仪 |
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产品型号 |
VTC-16-3HD |
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安装条件 |
本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用. |
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1、水：不需要 |
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2、电：AC220V50Hz,必须有良好接地 |
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3、气：设备腔室内需充注气气（纯度99.99%以上），需自备氛气气瓶（带压减阀） |
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4.工作台：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50ka以上 |
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5、通风装置：不需要 |
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主要参数 |
1、输入功率：110V/220V通用2000W(含真空泵) |
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2、输出功率：1600VDC50mA(最大电流) |
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3、石英置：0160mm×120mm |
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4、样品台：050mm(可选购加热型样品台，温度可到500℃：最长溅射时间不可超过5min) |
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5、真空泵：120L/M旋片式真空泵 |
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7、靶材：尺寸直径047mm,厚度0.1mm-3mm;可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni |
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产品规格 |
尺寸：360mm×350mm×3600mm; |
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重量：50kg |
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可选配件 |
1、KF25真空接口、卡箍 |
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2、不锈钢波纹管(600mm) |
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3、旋片式真空泵(120L/M) |
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4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材 |
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5、加热型样品台 |
联系人：黄女士(销售代表)
手机：13534522157
邮箱：287703728@qq.com
898995850
