|
腔体尺寸 |
石英玻璃，直径150mm*高度130mm |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
供电规格 |
AC220V,200W |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
溅射电压 |
MAX 2500V |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
溅射电流 |
MAX 30mA |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
靶材尺寸 |
直径57mm,厚度0.1~0.5mm |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
适用靶材 |
贵金属Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt, 普通金属Cu、W、Ag、Cr等 |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
样品台可调高度 |
20-50mm |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
样品台尺寸 |
直径55mm |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
工作真空度 |
1~20Pa |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
气体路数 |
单路 |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
补气流量 |
手动调节 |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
控制 |
触屏控制 |
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
真空泵 |
VRD-8
|
联系人：黄女士(销售代表)
手机：13534522157
邮箱：287703728@qq.com
898995850
