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人员净化用室，应包括雨具存放、换鞋、管理、存外衣、更洁净工作服等房间。厕所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空气吹淋室、气闸室、工作服洗涤和干燥间等其他用室，可根据洁净室的用途、产品生产要求和具体设计的实际情况确定是否设置。所有进入洁净室的人员必须在换鞋处净鞋或换鞋，目的在于使净化用室入口处不致受到严重污染，多数洁净厂房人员入口前设有擦鞋、水洗净鞋、粘鞋垫、换鞋、套鞋等净化措施。

为了保护人员净化用室的清洁，最彻底的办法是在更衣前将外用鞋脱去，换上清洁鞋或鞋套。现有洁净厂房工作人员都执行更衣前换鞋的制度，其中不少洁净厂房对换鞋方式作了周密考虑，换鞋设施的布置考虑了外用鞋与清洁鞋接触的地面要有明确的区分，避免了清洁鞋被外用鞋污染，例如跨越鞋柜式换鞋，清洁平台上换鞋等都有很好的效果。外出服在家庭生活及户外活动中积有大量微尘和不洁物，服装本身也会散发纤维屑，更衣室将外出服及随身携带的其他物品存放于专用的存衣柜中内，避免外出污染洁净工作服。洁净的手不可用普通毛巾擦抹，因为普通毛巾易产生纤维尘，最好的办法是热风吹干，电动自动烘手器就是一种较好的选择。

洁净室（区）内的物流出入口与人员出入口应分开布置，人流路线与物流路线应尽可能地分别组织安排，对于产品生产过程允许间断进行物料供应时，在物流路线中可设中间仓库，设在洁净室区内的中间仓库通常应有相应的空气洁净度要求，物流入口通常应设闸间。物料净化用室及其措施应根据产品生产特点、设备和物料的性质、形状等特征设置，如在洁净厂房的物料入口处设外包装清理室或更换外包装材料、运输器具；在洁净室内设容器清洗、干燥和贮存室等，这些房间的空气洁净度等级通常根据清理的对象和实际布置情况确定，通常在洁净区内时大多与相邻房间的洁净等级一致。

净化空调系统、公用动力系统等用房，这部分房间是洁净厂房的重要组成部分，在具体洁净室工程中应在洁净厂房中设置哪些房间，面积多少等都与该洁净厂房的产品生产有关，对于生产微电子产品或药品生产用洁净室的设备区用房差异很大；在洁净厂房设置哪些设备用房与具体工程的总体规划有关，但是目前在洁净厂房设计中常常将净化空调设备、供冷供热（不含锅炉房）设备和水、电设施布置在洁净厂房中，这样做既方便管理，又可减少管线长度等。在对洁净室的建筑进行设计时，必须对用于生产工艺、净化空调以及公用动力设施的空间组成进行有效利用，做到面积省、减少能量消耗和防止污染或交叉污染等。

厂房面积较大或者洁净生产区过于分散，集中设置机房使机房布置困难，在经过技术经济比较落后，也可分设几处机房；在技术改造过程中，往往因原有房屋空间条件有限，需将净化空调设备分散设置在各洁净室附近，分散设置方式的风管短，布置灵活，较能适应和利用原有空间，但在实际应用时应充分考虑噪声与振动对产品生产可能带来的影响。在某些工程中，既使用集中式净化空调机房供大部分洁净生产区安装的净化空调装置，又对特定局部空间使用分散式的净化空调装置，满足生产工艺的需要，它有集中式与分散式的特点，更加经济灵活，适应产品生产的要求。

物料净化主要是针对原材料、半成品、工具设备等的运输和传递过程中对其进行的清洁处理。物料出入口与人员出入口应分别独立设置。物料在清洁准备间内经过清洁后，应该如何继续输送下去，主要取决于产品生产工艺流程的要求，它直接影响着清洁准备间的位置选择；物料一般应经过气闸间进入洁净室（区），气闸间往往和洁净室（区）相毗邻或者就在洁净区内，所以其室内空气压力应与洁净生产区之间保持一个合理的压差，使净化空气从洁净生产区流向准备间；如果车间内生产流水性强或为了防止不同等级的洁净室（区）间相互污染或交叉污染或生产工艺要求防止不必要的交叉污染，物料在洁净室之间按照规定流程通过传递窗或者其他装置依次传递。为了适应产品、中间产品在工序之间进行物料传递的不同情况，使用的传递窗也有不同的类型。一般多为两道平开门式的箱式传递窗，往往将两道门作为机械联锁开关，即一道门处于关闭状态时，另一道门才能开启；也有的简化为非联锁式，依靠使用人员自行管理；在药品生产工厂采用箱体内部设置紫外灯用于对传递物进行灭菌；在开关频繁或者开启较长时间的情况下，有的还在箱体内设置有高效过滤器的空气幕。