随着超大规模集成电路的特征线宽不断减小,导致信号传输延shi、功耗增大以及互连阻容耦合增大等问题,为了解决这一问题,多孔低(超低)k介电材料越来越引起人们的注意。通过在前驱气体D5源中添加甲烷,由ECRCVD沉积技术制备出了SiCOH薄膜,由于在SiCOH低k薄膜的致孔工艺及后道工艺中,薄膜需要经受400～450℃的热冲击,因此首先对不同甲烷流量下真空退火前后薄膜的结构、表面形貌和湿水性进行了研究。
焊接顺序及焊材选用
① 通常先焊基层，基层(碳钢、低合金钢)焊缝不应熔透到复层金属，以防焊缝金属发生脆化或产生裂纹。
② 焊(堆焊)复层一侧时，必须考虑稀释的影响。所以在焊接复合板的复层时，应选择合适的填充金属先堆焊一层或多层过渡层，然后再焊复层。过渡层的填充金属必须能容许基层钢的稀释。
③ 根部可用碳弧气刨、铲削或磨削法进行清根。在堆焊过渡层前，必须清除清根坡口中的任何残余物。
④ 要焊后热处理以消除焊接残余应力，选择热处理温度时应考虑：基层和复层的热处理规范的差异；对复层耐蚀性的影响；基层和复层界面的元素扩散是否会产生脆性相，导致钢板性能恶化；由于基层和复层的物理性能差异，导致复层产生应力腐蚀开裂等。
不锈钢材复合耐磨板不仅具有优良的综合力学性能,还因具有防腐蚀、耐高温等特殊性能而得到广泛应用.但如何更进一步提高不锈钢的表面硬度,同时,降低其摩（略）不锈钢耐磨复合板的自润滑效果一直是改善不锈钢表面性能的热点课题.结合铝及（略）极氧化技术,本文以15-5PH不锈钢为研究对象,首先在其表面热浸铝,再进行含聚四氟乙烯(PTFE)的硬质阳极氧化,得到硬度高,耐蚀性好,且又具有良好自润滑性能的PTFE-Al_2O_3复合膜.
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