单向流洁净室（1-100级）
1-100级的洁净室，均采用单向流的气流组织送风方式，即洁净室内的气流在同一截面的任意一点，气流的方向和速度均保持一致，这样可以使清洁空气象“活塞”一样，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。
要实现“活塞”的效果，高效过滤器需要布满屋顶才可实现单向流的气流组织方式。
非单向流洁净室（1000-10万级）
1000-10万级洁净室的气流组织方向和100级以上的洁净室不同，室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动的，伴有回流或涡流，它主要靠洁净的气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，来实现净化。
电子无尘车间的测试：
1）．送风量与排风量：如果是紊流洁净室，那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流洁净室，则要测量其风速。
2）．各区之间的气流控制：为证明各区之间气流运动方向正确，也就是从洁净区向洁净度差的区域流动，必须检测：
（1）各区间的压差正确；
（2）门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确，即从洁净区向洁净程度差的区域流动。
3）．过滤器检漏：对高效过滤器及其外框要进行检验，以保证悬浮污染物不会穿过：
（1）损坏了的过滤器；
（2）过滤器与其外框间的缝隙；
（3）过滤器装置的其他部位而侵入室内。
4）．隔离检漏：这项测试是为了证明悬浮污染物不穿过建筑材料侵入洁净室。
5）．室内气流控制：气流控制测试的类型要依洁净室的气流模式——是紊流还是单向流而定。若洁净室气流为紊流，则必须验明室内没有气流运行不足的区域。若是单向流洁净室，则必须验明整个室内的风速和风向是符合设计要求的。
6）．悬浮粒子浓度和微生物浓度：如果上述这些测试满足要求，则最后对粒子浓度和微生物浓度（需要时）进行测量，以便验明其符合洁净室设计的技术条件。
高洁净性：应用臭氧作消毒灭菌剂，停机30分钟后，剩余臭氧即可渐渐自行分解还原为氧，同时还可以改善空气的质量，优化工作环境。所以臭氧被赞誉为“绿色消毒剂” 对机器设备无不良影响：臭氧对空所中的浮游菌灭活所需臭氧的浓度很低，一般只需要2~4PPM，对物体表面沉降菌落（代替传统的化学熏蒸大消毒）只需要10~15PPM左右。空气中臭氧浓度只有10-15百万分之一，是化学熏蒸浓度的500分之一。由于灭菌过程时间短，正确使用不足以构成物体腐蚀的条件，这也是大家特别关心的。
使用经济：以空气为原料，工作能耗低，运行费用低，经济效益好。
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