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传统控制系统控制功能主要由控制室设备承担,现场总线系统控制功能基本上由智能化的现场仪表承担,控制功能分散的比较彻底,真正做到了“分散控制”。比如该系统的智能温控设备,通过对变压器温度的监测,它会发出命令启动风机降温或者高压跳闸,并不依赖上位机的功能。由于现场总线设备的智能化、数字化,与模拟信号相比,它从根本上提高了测量与控制的精确度,减少了传送误差。同时,由于系统结构简化,设备连线减少,现场仪表内部功能加强,减少了信号的往返传输,提高了系统的工作可靠性。
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MKS ENI Specturm B-5002 RF Generator, 5KW
Parker Compumotor C Series Drive, CP-C-DRIVE-B, Novellus Microstep Stepper Motor
ACTUATOR;3870-04344,35*336,760TORR,80PSI/ ASSY, VALVE SLIT DBL ACTUATOR
AMAT 047204440, VARIAN 4 inch Substrate HTR TOP
EUROTHERM POWER CONTROLLER / 4-20MA-FC / INDICATED ONLY
TYLAN CDL-21S06 Pressure Gauge, 100 Torr
VERIFLO 944AOPLPNC/NCS4217, PART NO : 43900371 , Type : VCR Female / 1/4 ″
AMAT 0100-09103 REV.B / AC Interconnect BD / P5000 BD
AMAT 0100-09027 REV.C / AC Interconnect BD / P5000 BD
AMAT SIDE MATCH ASSY FAN W/INTLK 300MM ULTIMA, 0010-23685
BEARING;CRBC5013UUT1P5,CROSS ROLLER BEAR
VARIAN TURBOPump Controller / Turbo-V 200 Controller
INTEGATED FLOW SYSTEMS SR3-120-4MVMV-S7-10 / PRESSURE REGULATOR
VERIFLO SQ140E502PUPGPA, Regulator, Valve, Parker
AE PINNACLE 20K RF Generator, 3152412-233, 0190-25724-001
Edwards QDP DRYPUMP CONTROLLER, 80/250*250 SYSTEM MODULE
Varian Turbo-V450, TURBOV450, TURBOPUMP, 969-9041
MKS V2-100-AM-CST-CLVNH-24D VALVE, ANGLE, GATE
ADTECH AP355OSM-2PW-FVFV4, MAX . PRESSURE : 250 PSI / air valve
MKS 750B51PCB4GA Baratron Pressure Switch, Transducer
DAIHEN WMN-50C6 RF MATCHER / 3D80-000604-71
COMDEL CPS-250 RF POWER SOURCE/ 3.39MHz, FP0014R2
CTI-CRYOGENICS ON-BOARD Controller & Power cable, 8112099G001
EQ BESTECH RFS-2502 RF MATCH, EQM-RFS-2502
NOVELLUS SRN2, 02-255013-00, RF MATCH, FIXED DOME, SPEED-S, TRAZAR
MFC(Masss Flow Controller) SEC-D114 , HORIBA STEC SEC-D100 SERIES, N2, 500SCCM
VARIAN L6591-303 AIR VALVE
AMAT W/H C.O.E LOADLOCK CHAMBER ASSY,200mm, 0010-70064, P5000 ROBOT, ARM, Paddle
National Electronics Magnetron NL10250-17, 1.9kw, Water Cooled, Novellus
CABLE ASSY, RF Generator, Novellus 03-00288-03
TEL DS027-007022-1 O-RING DU353FPE01
898995850
