东莞薄膜面板厂家说明薄膜喷界热分解法
据了解，自从1966年Chamberlin和Skarman用SP法制得太阳能电池用US薄膜以来，SP法已广泛用于制备单氧化物、尖晶石型氧化物、钙钦矿型氧化物以及硫化物、硒化物等。SP法还用于制备多化学组分的陶瓷粉体。
SP法制备薄膜技术主要有如下优点:
(1)工艺设备简单，不需要高真空设备，在常压下即可进行;
(2)能大面积沉积薄膜，并可在立体表面沉积.沉积速率高，易实现工业生产，
(3)可选择的前驭物较多，容易控制薄膜的化学计量比;东莞薄膜面板厂了解到掺杂容易并可改变前驱物溶液中组分的浓度制备多层膜或组分梯度膜等。
(4)通过调节雾化参数可控制薄膜的厚度，克服溶胶一凝胶法难于制备厚膜的不足;
(5)沉积温度大多在600℃以下.相对较低。
不过无论采用何种方式雾化，SP法制备薄膜均是由雾滴或细粉体颗粒沉积生长而成，所制备薄膜的表面不如MOCVD制备的薄膜光滑平整，薄膜中的气孔率也较高。而且，雾化液滴的大小及分布，溶液性质以及基片温度等工艺条件对SP法制备薄膜的表面形貌影响很大。因此喷雾热解法不容易制备光滑、致密的薄膜.在沉积过程中，薄膜中易带人外来杂质，而且主要限于制备氧化物、硫化物等材料。
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