据悉,入射到基底表面上的气相原子在表面上形成吸附原子后,它便失去了沿表面法线方向的动能,只具有与表面水平方向相平行运动的动能。依靠这种动能,吸附原子可以在表面上作不同方向的表面扩散运动。在表面扩散过程中,单个吸附原子间相互碰撞形成原子对之后才能产生凝结。因此凝结就是指吸附原子结合成原子对及其以后的过程。所以吸附原子的表面扩散运动是形成凝结的必要条件。表面扩散能比吸附能小得多,大约是吸附能的1/6~1/2。
吸附原子在一个吸附位置上的停留时间称为平均表面扩散时间。
吸附原子在表面停留时间经过扩散运动所移动的距离(从起始点到终点的间隔)称为平均表面扩散距离。
东莞硅胶按键生产厂家薄膜的形成与生长
薄膜的形成与生长过程大体可分为外来原子在基底(或称为基片、基板或衬底)上的凝结、扩散、成核、晶核生长、原子或粒子团的接合及连接成膜等阶段。薄膜的形成与生长过程不仅与薄膜材料和基底材料有关,还受原子和离子的状态及能量、沉积速率、基底温度、杂质等多种因素的影响。薄膜的生长过程将决定薄膜的微观组织与结构,而薄膜的微观组织与结构直接决定薄膜的物理化学性能。因此,在讨论薄膜结构和性能之前,先研究薄膜的形成与生长是十分必要的。
虽然薄膜的制备方法多种多样,薄膜形成的机理各不相同。但在许多方面,不同的制膜方法和薄膜的形成与生长过程仍具有许多相同的特点。在本章中,我们主要以真空制膜为例进行讨论。
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