供应平面磁控溅射靶材,光学薄膜靶
平面磁控溅射靶材光学薄膜用硅靶
纯度:99.999%min 高纯
尺寸:圆片,圆台(直径<360mm,厚度>1mm)
矩形,片材,台阶片(长<300mm,宽<300mm,厚度>1mm)
管材,圆环,旋转靶材(直径<360mm,厚度>2mm)
可按照图纸加工订制,大尺寸需来电咨询。
本标准规定了平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶的要求、检验规则、试验方法、标志、包装、内容等
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