启澜激光全自动晶圆激光划片机种类区别
全自动晶圆激光划片机产品介绍:启澜激光全自动晶圆激光划片机种类区别
适用于表面玻璃钝化硅晶圆的划片机切割加工
全自动晶圆激光划片机系统组成:启澜激光全自动晶圆激光划片机种类区别
1 激光器系统；
2 外光路系统；
3 X Y θ三轴精细运动系统
4 机器人上下料系统
5 双CCD自动识别定位系统
6 自动调焦对焦系统
7 抽气除尘系统（净化）
8 逻辑控制系统
9 花岗石基座平台
全自动晶圆激光划片机技术指标：启澜激光全自动晶圆激光划片机种类区别
项目
指标参数
自动化程度
自动上下料、自动寻边定位、自动标刻打码
加工尺寸
4寸、5寸、6寸、定制
晶粒规格
四边形、六边形
切缝宽度
≤30um
切割深度
50%~75%（≤300um）
切割速度
≥60mm/s
定位精度
±2.5um
重复精度
±1um
旋转精度
20arc-sec(0.006°）
激光波长
355nm
1064nm
激光功率
10W@100KH
20W@30KH
公司网站：http://www.qllaser.com/
http://www.laserlead.com/
http://www.key-land.com.cn/
http://www.gosunlaser.com/
启澜激光主要产品系列包括，激光划片机、激光刻膜机，激光打标机、激光切割机、激光雕刻机、激光微加工设备,太阳能组件测试仪，太阳能电池分选仪，EL缺陷检测仪。启澜激光，优秀的研发生产服务技术团队，骨干成员拥有激光行业10年以上的设计制造服务经验，精英成员出色的创造潜力，不断超越过去，超越自我 。启澜激光，得到来自激光技术国家重点实验室和激光加工国家工程研究中心的大力支持，启澜激光以务实的作风、科学的态度、创新的精神、专业团队，为广大用户提供满意的服务。 携手启澜，共创明天！
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