CGA350硅烷、硅甲烷气体减压阀
RF1L系列单级式不锈钢膜片减压结构，输出压力稳定，适用于高纯气体硅烷、硅甲烷气体等、纯净气体、标准气体、腐蚀性气体等。
CGA350硅烷、硅甲烷气体减压阀结构设计特点：
? 单级式减压结构
CGA350硅烷、硅甲烷气体减压阀母体与膜片采用硬密封形式 （可抽真空）
? 母体螺纹：1/4" NPT（F）
? 内部结构易吹扫
? 内设过滤网
? 可采用面板式或墙式安装
气体适用范围：
? 实验室高纯硅烷、硅甲烷等
? 气相色谱仪
? 气体激光器、照明
? 气体汇流排、太阳能光伏产品
? 石油化学工业
? 测试设备
? 硅烷、硅甲烷气体压力表刻度单位：PSI/BAR或MPA可选
? 进、出接头根据客户要求配置
材质:
? 母体:316L , Brass （铜镀镍）
? 上盖:316L , Brass （铜镀镍）
? 膜片:哈氏合金
? 过滤网:316L(10μm)
? 阀座:PCTFE,PTFE,
? 弹簧:316L
? 阀芯顶杆:316L
特性参数:
? 最大输入压力： 0-20MPa
? 输出压力： 0～0.17， 0～0.35，0～1, 0～1.7MPa可调（根据客户要求）
? 安全测试压力： 1.5 倍的最大输入压力
? 适用温度: -40℃至+74℃
? 泄漏率:2×10-8 atm cc/sec He
? Cv 值:0.08
? 重量1.2kg
硅烷、硅甲烷气体进气螺纹：接CGA330、CGA350、CGA580、CGA590、CGA679等气体钢瓶；
出气接头：带?8MM胶管接头等；
CGA350 CGA330不锈钢减压阀输入压力（MAX）：20MPa(量程0-25 MPa )；
输出：0-1MPa可调等 (表量程0-1MPa) ；
带316L不锈钢双表；母体、膜片材料:哈氏合金。
内置过滤网精度：5-10um。调压平稳，密封可靠。
CGA350硅烷、硅甲烷气体减压阀气体出气口带不锈钢针阀可以调节高纯气体气体出气流量。
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