
供应MFC-M3030V气体质量流量控制器-韩国莱因泰可原装
特价供应M3500V气体质量流量控制器,价格24000元,欢迎来电来函询洽,韩国莱因泰可原装进口,韩国莱因泰可中国公司——上海昕潼贸易有限公司总经销。
产品优势:
测量质量流量
不需要温度、压力补偿
紧凑的流量控制系统
高精度(±1%F.S)
耐高压(90公斤)
快速响应时间(<2秒)
高重复性(±0.25%F.S)
LINE TECH气体质量流量流量计和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入,直拉式晶炉,精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。
型 号 M3030V/A
流量范围(N2) 0.01~30 slpm
响应时间 <2秒
精确度 ±1%
重复精度 ±0.25%
输入输出信号 0~5Vdc or 4~20mA
供电 +15Vdc or +24Vdc,350mA
最大工作压力 5~1300 psia
最大工作温度 0~50℃
漏率 1×10-9atm.cc/sec
控制范围 2~100%
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