CVD管式炉厂家的详细资料
CVD管式炉厂家的详细资料：
CVD管式炉厂家简单介绍：
这款CVD系统集真空管式炉，多通道气路系统和真空系统组成，可根据用户需要设计生产（有双温区、三温区、多温区），可预抽真空（有高真空、低真空），通多种气氛（供气系统有质子流量器和浮子流量控制器）。性能可靠。控制电路选用模糊PID程控技术，具有控温精度高，温冲幅度小，性能可靠，简单易操作等特点。
高真空管式炉
炉管尺寸外径Φ60×1000mm,Φ80×1000mm,Φ100×1000mm
极限温度1700℃
工作温度800-1600℃
温度控制器PID自动控制晶闸管（可控硅）输出功率，50段可编程控制器
最快升降温速率1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min
加热区360mm
恒温区150mm
温度精度±1℃
电源单相220V,交流50Hz
多通道流量计控制系统
标准量程100，200，500，1000SCCM；（以氮气标定，除以上标准外量程可选）
准确度±1.5%
工作压差范围0.01～0.05MPa
最大压力0.02MPa
接头类型Φ6双卡套不锈钢接头
高真空系统
泵体积流量N233L/S
压缩比10:11
实验真空值6.7*10-3Pa
功率消耗140W
启动时间2min
电源要求：185-265VAC
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