SRP-4面铜探头水晶头CMI700专用英国牛津
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同时CMI 760具有先进的统计功能用于测试数据的整理分析。
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CMI 700配置包括:
CMI 700主机及证书
SRP-4探头
SRP-4探头替换用探针模块(1个)
NIST认证的校验用标准片及证书
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ETP探头
TRP探头
SRG软件
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铜厚测量范围:
化学铜:10 μin – 500 μin (0.25 μm – 12.7 μm)
电镀铜:0.1 mil – 6 mil (2.5 μm – 152 μm)
线形铜可测试线宽范围:8 mil – 250 mil (203 μm – 6350 μm)
准确度:±1% (±0.1 μm)参考标准片
精确度:化学铜:标准差0.2 %;电镀铜:标准差0.5 %
分辨率:0.01 mils ≥ 1 mil, 0.001 mils <1 mil,
0.1 μm ≥ 10 μm, 0.01 μm < 10 μm, 0.001 μm < 1 μm
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ETP孔铜探头测试技术参数:
可测试最小孔直径:35 mils (899 μm)
测量厚度范围:0.08 – 4.0 mils (1 – 102 μm)
电涡流原理:遵守ASTM-E376-96标准的相关规定
准确度:±0.01 mil (0.25 μm) < 1 mil (25 μm)
精确度:1.2 mil(30μm)时,达到1.0% (实验室情况下)
分辨率:0.01 mils (0.1μm)
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显示 6位LCD数显
测量单位 um-mils可选
统计数据平均值、标准偏差、最大值max、最小值min
接口 232串口,打印并口
电源 AC220
仪器尺寸 290x270x140mm
仪器重量 2.79kg
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